Mineralisolierte Heizlösungen für die Halbleiterindustrie
Die Bereitstellung von mineralisolierten Heizlösungen für die Halbleiterindustrie ist ein bekanntes Fachgebiet von Kamet Heating. Wir bieten unter anderem Heizkabel und kundenspezifische Mikroheizungen für verschiedene Halbleiterunternehmen in Europa an. Unser Ziel ist es, zuverlässige und hochwertige Lösungen in einem Markt anzubieten, in dem Nanometer zählen.
Heizlösungen für die Halbleiterindustrie
Im Allgemeinen stellt das Heizen in der Halbleiterindustrie eine große Herausforderung dar, wenn es um Temperatur und Platz geht. Die Betriebstemperaturen sind oft hoch und Schwankungen in der Leistung sind nicht wünschenswert, wenn die Prozessstabilität entscheidend ist, z.B. bei der Partikelabscheidung auf Halbleiterwafern oder bei Lithografieprozessen. Daher sind mineralisolierte Heizelemente eine sehr gute Lösung, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu verbessern, selbst in einer Vakuumumgebung.
Unsere Heizelemente können auch in Sputtering-Systemen eingesetzt werden. Sputtern wird zur Abscheidung von Dünnschichten in Halbleitergeräten und anderen Nanotechnologieprodukten verwendet. Unsere maßgeschneiderten Lösungen integrieren die mineralisolierten Heizelemente in das gewünschte Endprodukt.
Die Heizlösungen von Kamet sind für die folgenden High-End-Anwendungen in der Halbleiterindustrie geeignet:
- Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
- Schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und schnelles thermisches Ausglühen (RTA)
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- (Foto-)Lithographie
- Atomare Schichtabscheidung (ALD)
- Ionen-Implantation
- Verdampfer-Systeme
- Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
- Gepulste Laserabscheidung (PLD)
- Sputtern
MI Produkte und Lösungen
Mikro-Heizungen
Mikroheizer können auch in Sputtering-Systemen eingesetzt werden, in denen Dünnfilmschichten in Halbleitergeräten und anderen Nanotechnologieprodukten abgeschieden werden. MI-Mikroheizer sind vielseitig einsetzbar und halten auch rauen Bedingungen wie hohen Temperaturen und extremen Umgebungen mit Vakuum oder hohem Druck stand. Sie sind flexibel und können an komplizierte Platzverhältnisse angepasst werden, um eine optimale Leistung in Branchen wie der Halbleiterindustrie zu gewährleisten. Dank unseres Fachwissens und unserer Zusammenarbeit mit führenden Herstellern können wir maßgeschneiderte Heizlösungen anbieten und so unser Engagement für Qualität und Innovation bei der Erfüllung der spezifischen Anforderungen unserer Kunden unterstreichen.
Wafer-Heizungen
Unsere Wafer-Heizgeräte sind auf die speziellen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten und bieten eine präzise Temperaturkontrolle, die für verschiedene Herstellungsprozesse entscheidend ist. Diese Heizelemente sind für hohe Temperaturen von bis zu 1000°C ausgelegt und gewährleisten Langlebigkeit und Zuverlässigkeit. Wir bieten eine Reihe von Konfigurationen an, die perfekt auf die Anforderungen Ihrer Anwendung abgestimmt sind und eine optimale thermische Leistung gewährleisten.
Detaillierte Spezifikationen und die gesamte Palette unserer Lösungen für Wafer-Heizungen finden Sie auf unserer Produktseite, wo Sie weitere Informationen erhalten.
Haben Sie eine Frage zu unseren Heizungslösungen?
Thermische Herausforderungen können komplex sein. Wenden Sie sich noch heute an unsere hauseigenen Experten und finden Sie gemeinsam die beste MI-Heizungslösung für Ihre Bedürfnisse.