Es gibt verschiedene Vakuumverfahren, um dünne Schichten (Beschichtungen) aus Metallen, Legierungen und Nichtmetallen zu erzeugen. Dies kann durch mechanische, elektromechanische oder thermodynamische Verfahren geschehen. Die mineralisolierten Vakuumheizer von Kamet haben ein breites Anwendungsspektrum in Beschichtungssystemen.
Was ist die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)?
Bei der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) werden Metalle und Legierungen aus einer Quelle verdampft und die Atome, Ionen oder Moleküle werden durch thermische Verdampfung, Sputtern oder Elektronenstrahlen (E-Beam) auf der Substratoberfläche abgeschieden. Die Wahl der Technik hängt von der spezifischen Art des abzuscheidenden Materials ab.
Magnetronzerstäubung
- Verwendet ein elektrisch erzeugtes Plasma zwischen der Quelle und dem (erhitzten) Substrat (normalerweise Glas).
E-Beam Verdampfung
- Ein Magnet beschleunigt Elektronen in einem intensiven Strahl, um das Material für die Verdampfung zu erhitzen.
- Erzielt dichte Schichten von hoher Reinheit auf dem (erhitzten) Substrat.
- Wird für die Abscheidung von Materialien verwendet, die aufgrund ihrer geringen Wärmeleitfähigkeit nicht mit der herkömmlichen thermischen Verdampfung erreicht werden können.
Thermische Verdampfung
- Die häufigste und einfachste Form der Ablagerung
- Erfordert Hochvakuum-Beschichtungsbedingungen (10E-5 mbar und höher)
- Ein Widerstandsheizelement bringt das Ausgangsmaterial in einem Widerstandsboot auf den Siedepunkt
- Die verdampften Moleküle bilden eine Dünnschicht (Beschichtung) auf dem Substrat.
- Kann für fast alle anorganischen sowie einige organische Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten verwendet werden
- Mehr Umweltfreundlichkeit
- Ermöglicht eine hochreine Abscheidung aus hochreinem Ausgangsmaterial (sehr geringe Kontamination durch das Hochvakuum).
Welche Heizlösungen bietet Kamet für PVD an?
Kamet Wafer-Heizungen sind eine wichtige Komponente beim Magnetron-Sputtern. Wir sind auch in der Lage, unsere Substratheizungen (auch bekannt als Chuck-Heizungen oder Probenheizungen) an spezifische Prozessanforderungen anzupassen. So können wir zum Beispiel ein mineralisoliertes Heizelement in den Heizchuck für PVD-Oberflächen gießen. Mikroheizer sind eine weitere maßgeschneiderte, kleine Heizlösung für PVD.
Die Stärke von Kamet liegt in der Tat darin, extrem genaue, maßgeschneiderte Lösungen anzubieten, die auf die spezifischen High-End-Anforderungen unserer Kunden in der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind. Für solche Projekte arbeiten wir auch eng mit den Spezialisten unseres Partnerunternehmens ARi zusammen, die unsere MI-Heizer liefern.
Was sind die Vorteile der Verwendung von mineralisolierten Heizelementen für PVD?
- Temperaturen von bis zu 1000°C
- Mineralische Isolierung sorgt dafür, dass die Heizelemente geeignet sind
- Maßgeschneiderte Mantelmaterialien sind für jede Umgebung erhältlich
- Nahtlose Übergänge zwischen dem heißen und dem kalten Teil des Heizgeräts
- Die heißen und kalten Abschnitte haben den gleichen Durchmesser
- Einfache Terminierung durch kalte Enden, die eine Überhitzung verhindern
- Geeignet für hohe Leistungsdichte
- Gleichmäßige Verteilung der Wärme auf eine Quelle, einen Wafer, ein Ziel oder ein Substrat
- Ein großer Biegeradius macht die Heizelemente geeignet für komplizierte, gebogene Anwendungen
- Präzise Heizung für kritische Prozesse
- Dünnere, massearme Designs sind möglich.
- Schnelle Aufwärmzeiten
- Versiegelte Heizelemente verhindern Verschmutzung
- Thermoelemente können in den Entwurf einbezogen werden
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